TY - JOUR ID - 2835 TI - فلزینه کاری پلیمرها: مس روی سیکلوتن JO - روشهای عددی در مهندسی JA - JCME LA - fa SN - 22287698 AU - سید علی صدوق ونینی, AD - Y1 - 2022 PY - 2022 VL - 22 IS - 1 SP - 167 EP - 174 KW - فلزینه کاری KW - سیکلوتن KW - چسبندگی KW - پلاسما KW - چند لایه DO - N2 - بررسی تقاضاهای تکنولوژی GSI و ULSI حاکی از نیاز ساختارهای چند لایه به کاهش زمان تأخیر انتقال علائم بین سیستمهای نیمه هادی است. این کاهش با استفاده از یک فلز هادی خوب مانند مس و یک غیر هادی کم ظرفیت تر از آنچه هم اکنون استفاده می‌شود مانند سیکلوتن ممکن است.در این مقاله نتایج حاصل از چسبندگی پوشش تبخیری و پراکنشی مس روی سیکلوتن 3022 بررسی می‌شود. پس از ارائه واکنشهای فصل مشترک فلز و پلیمر که رابطه مستقیم با چسبندگی دارد روشهای بهبود چسبندگی منجمله تغییر سطح پلیمر توسط پلاسمای نیتروژن ارائه می‌شود. واژگان کلیدی: فلزینه کاری، سیکلوتن، چسبندگی، پلاسما، چند لایه UR - https://jcme.iut.ac.ir/article_2835.html L1 - https://jcme.iut.ac.ir/article_2835_5285d53568d8a2d7df74083f97f46449.pdf ER -