فلزینه کاری پلیمرها: مس روی سیکلوتن
نویسنده
چکیده
بررسی تقاضاهای تکنولوژی GSI و ULSI حاکی از نیاز ساختارهای چند لایه به کاهش زمان تأخیر انتقال علائم بین سیستمهای نیمه هادی است. این کاهش با استفاده از یک فلز هادی خوب مانند مس و یک غیر هادی کم ظرفیت تر از آنچه هم اکنون استفاده می‌شود مانند سیکلوتن ممکن است.در این مقاله نتایج حاصل از چسبندگی پوشش تبخیری و پراکنشی مس روی سیکلوتن 3022 بررسی می‌شود. پس از ارائه واکنشهای فصل مشترک فلز و پلیمر که رابطه مستقیم با چسبندگی دارد روشهای بهبود چسبندگی منجمله تغییر سطح پلیمر توسط پلاسمای نیتروژن ارائه می‌شود.
واژگان کلیدی: فلزینه کاری، سیکلوتن، چسبندگی، پلاسما، چند لایه
واژگان کلیدی: فلزینه کاری، سیکلوتن، چسبندگی، پلاسما، چند لایه
کلیدواژه‌ها
عنوان مقاله [English]
Metalization of Polymers: Copper on Cyclotene
نویسنده [English]
- A. Sadough - Vanini
An analysis of the demands of ULSI and GSI technologies shows the necessity of multi-layer devices to reduction of signal transmission delay time. This reduction is realized by using a better conductor metal, such as Cu and a surrounding insulator with low capacity than actually used, such as Dow Cyclotene 3022. In this paper, the results of evaporated and sputtered Cu to Dow Cyclotene 3022 were studied. After presentation of interfacial reaction that causes adherence, the methods of enhanced adherence as surface modification of polymer by nitrogen plasma have been investigated.
Keywords: Metalization, Cyclotene, Adherence, Plasma, Multi-layer
کلیدواژه‌ها [English]
- Metalization
- Cyclotene
- Adherence
- plasma
- Multi-layer
)